蒸镀式有机物真空镀膜机工作原理及常见故障分析  

作　　者：汪雷雷 仲梁维[1] 戴秀海 

机构地区：[1]上海理工大学,上海200093 [2]光驰科技(上海)有限公司,上海200444

出　　处：《中国水运（下半月）》2020年第3期100-101,共2页

基　　金：上海市宝山科委科技创新产学研项目:基于大数据的智能型镀膜机开发(17-C-17)

摘　　要：真空镀膜设备是电子行业、半导体行业、光学、太阳能薄膜及玻璃等行业生产和研制过程中广泛使用的设备,随着这些行业的快速发展,市场对镀膜设备性能的要求越来越高。本文对蒸镀式真空镀膜机的工作原理进行详细的介绍,并对常见镀膜设备出现的故障进行深入分析。

关 键 词：真空镀膜 故障 工作原理 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]