高纯氨生产工艺技术探讨  

作　　者：梁雄 尹爱华 王小波 谢小明 

机构地区：[1]兰州裕隆气体股份有限公司,甘肃兰州730060

出　　处：《新型工业化》2022年第10期236-239,共4页The Journal of New Industrialization

基　　金：“科技助力经济2020”国家重点研发计划项目“废氨无害化高效利用新技术的研发及产业化应用”(项目编号:SQ2020YFF0403984)

摘　　要：以工业氨为原料,采用多级吸附、低温精馏以及超滤相结合的纯化方法精制高纯超净氨,产品纯度达到99.9999%以上,同时建立与美国蓝氨技术指标相当的企业标准,建立气体杂质、金属杂质的分析方法,形成规模化生产能力,生产的高纯氨满足氮化镓制造工艺的使用要求。

关 键 词：半导体 高纯氨 生产工艺 

分 类 号：TQ113.26[化学工程—无机化工]