高纯电子特气六氟丁二烯纯化技术的发展  

作　　者：张浩[1] 徐海云[1] 郭君 

机构地区：[1]中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北邯郸056027

出　　处：《化学工程与装备》2020年第12期255-256,共2页Chemical Engineering & Equipment

基　　金：河北省省级科技计划资助项目,专项名称:新兴产业前沿技术开发,专项项目名称:高纯电子气体六氟丁二烯的研发(项目编号18211402D)

摘　　要：六氟丁二烯(C4F6)是一种新型的含氟电子气体,具有极其优越的蚀刻性能,且对环境友好。本文章首先介绍了C4F6的物理性质和蚀刻特点,进而论述了我国及国外六氟丁二烯纯化技术的发展现状,为我国的C4F6纯化技术提供一定的理论依据。

关 键 词：六氟丁二烯 蚀刻 纯化技术 

分 类 号：TQ222.432[化学工程—有机化工] TM213[一般工业技术—材料科学与工程]