基于数字显微全息的微光学三维测量系统  

作　　者：徐强胜[1] 房鹤飞 高瑞翔[1] 曲伟娟 

机构地区：[1]上海市质量监督检验技术研究院,上海 200000 [2]新加坡义安理工学院,新加坡 999002

出　　处：《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》2016年第6期00255-00256,共2页

摘　　要：针对微光学器件,建立了一种基于数字显微全息原理的微光学三维测量系统,该测量系统能实现微光学器件的三维测量,通过计算分析能获得透镜的相关物理参数。以SUSS微透镜为实验样本,测量结果表明,基于数字显微全息的微光学三维测量系统能很好的实现不同种类微光学器件的三维测量和物理参数分析。

关 键 词：数字显微全息 微光学 三维测量 

分 类 号：O438.1[机械工程—光学工程]