哈特曼传感器在缩束系统精密装调中的应用  

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作  者:薛璐[1] 

机构地区:[1]中国科学院西安光学精密机械研究所,陕西 西安 710119

出  处:《中文科技期刊数据库(文摘版)工程技术》2016年第5期00119-00119,共1页

摘  要:研究针对高质量的缩束系统精密装校过程,提出了一种应用哈特曼波前传感器辅助装调方法,这种利用哈特曼传感器辅助装调的方法有效直观地控制了缩束系统波前畸变,提高了缩束系统的装调精度。

关 键 词:缩束系统 哈特曼传感器测量 波前畸变 

分 类 号:TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

 

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