集成电路晶圆探针测试综述  

作　　者：卓红标 

机构地区：[1]上海交通大学微电子学院,上海中国200240

出　　处：《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2016年第9期236-236,238,共2页

摘　　要：介绍了集成电路制造的测试的重要性,对晶圆探针测试的意义进行了进一步的分析,对晶圆探针测试的典型项目进行了简述,列出了测试分析过程、测试目的及测试方法。 并对集成电路测试的发展进行了展望。

关 键 词：集成电路测试 WAT测试 阀值电压 饱和电流 

分 类 号：TN407[电子电信—微电子学与固体电子学]