硅集成电路发展现状及其前景  

作　　者：李林 章珺[1] 

机构地区：[1]中国计量学院现代科技学院,浙江 杭州 310027

出　　处：《中国科技期刊数据库 科研》2017年第2期00130-00130,共1页

摘　　要：本文主要介绍了硅集成电路中的硅基单片微波集成电路发展和SOI集成电路技术,而且阐述了硅集成电路的发展工艺还有它的制造过程中的关键技术和技术突破点以及发展趋势。

关 键 词：硅集成电路 发展工业 关键技术 发展趋势 

分 类 号：TB383[一般工业技术—材料科学与工程]