SPC研究及其在芯片制造工艺中的应用  

作　　者：吕杨田野 

机构地区：[1]中芯国际集成电路制造(天津)有限公司,天津300385

出　　处：《中文科技期刊数据库(文摘版)工程技术》2017年第5期00322-00322,共1页

摘　　要：统计过程控制SPC是Statistics Process Control的缩写,它指应用统计学的方法,分析过程的样本统计数据,以此判断生产过程的波动是否处于可接受状态,在必要时,调整过程参数,以降低产品质量特性值过多地偏离目标值,使整个过程维持在仅受偶然因素影响的稳定受控状态,以提高过程的效能。正式基于以上SPC特点,可用于监控芯片制造工艺中薄膜厚度、电阻率、腐蚀速率等数据。

关 键 词：SPC研究 芯片制造 工艺应用 

分 类 号：TU761.6[建筑科学—建筑技术科学]