光栅精密位移测量技术发展综述  

作　　者：李金泽 

机构地区：[1]广电计量检测(天津)有限公司,天津 300385

出　　处：《中文科技期刊数据库(引文版)工程技术》2020年第6期00199-00199,共1页

摘　　要：科技在不断的发展,社会在不断进步,我国的综合国力显著增强,精度测量属于精密加工的前提,是影响制造中制造精度的原因之一。基于衍射光栅的精密位移测量系统由于其对环境的低要求和高精度的测量分辨率而在精密位移测量中占据了主要的位置。基于点阵的精密位移测量系统主要有几个部分,例如:光学测量系统,信号接收,电子分段和全局对准。本篇文章主要总结了光学测量的光路。第一,阐述了点阵位移测量的经典原理。第二,阐述了基于网格的精密位移测量系统的关键技术,分析了一些具有代表性的测量技术,并总结了优点以及缺点。第三,分析了基于网格的精确位移测量技术,介绍了高精度、高分辨力、高鲁棒性、小型化、多维多技术融合的发展趋势。

关 键 词：位移测量 光栅 高精度测量 衍射干涉 

分 类 号：TH161[机械工程—机械制造及自动化]