硬质合金刀具材料化学机械抛光机理研究  

作　　者：陆旻琳 

机构地区：[1]内蒙古科技大学材料与冶金学院,内蒙古包头014010

出　　处：《装备维修技术》2021年第13期0060-0060,共1页Equipment Technology

摘　　要：本文主要是研究了目标硬质合金刀具原材料的各种化学和机械抛光(cmp)的相互作用及其原因和机理,为提高硬质合金刀具 的外观和表面品质水平提供了科学技术理论支持。该方法主要通过对硬质合金刀具材料高温下的酸性和碱度抛光液中所发生的化学反 应进行了分析,研究了各种硬质合金刀具材料 cmp 的化学反应作用机制。根据接触力学原则来计算出一个抛光垫片和工件之间真正接 触面积与单一磨料颗粒之间真正切割面积。在典型硬质铝镁合金抛光条件下,材料相对误差去除率理论值与实测计算数值之间最小相 对误差约为 13.25,消除了铝镁合金材料的外观和表面缺陷并且可以获得较好的照明和镜面效果。结论所需要建立的材料去除率模型可 以保证其具有一定精度和高效率,硬质铝合金刀具材料在采用化学机器进行抛光后可以完全彻底地消除铝合金刀具外壳内部表面的损 坏。提高表面质量。

关 键 词：硬质合金刀具 化学机械 抛光机理 化学反应 

分 类 号：C[社会学]