浅谈半导体制程量测设备电气系统可靠性设计  

作　　者：侯友爱 

机构地区：[1]睿励科学仪器(上海)有限公司,上海200000

出　　处：《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》2021年第3期00259-00261,共3页

摘　　要：半导体行业中芯片和集成电路的问世,极速推动了科技的高度发展和自动化程度的普遍提高。半导体行业中的芯片和集成电路的制程设备的可靠性和稳定性设计尤为重要,随着近两年中美贸易摩擦的局部升级,国家层面对半导体行业的自主研发和保质量产给予了更高的期望,相关政策引导和扶持也越来越大。本文就当前半导体行业的发展现状,结合半导体制程设备实际安全及可靠性需求,重点阐述半导体制程量测设备的电气自动化系统的可靠性设计及相关探讨。

关 键 词：电气自动化 半导体 设备 可靠性 设计 

分 类 号：TN43[电子电信—微电子学与固体电子学]