等离子物理气相沉积设备研究及发展现状  

作　　者：刘刚 

机构地区：[1]上海大学管理学院,上海200000

出　　处：《装备维修技术》2021年第20期0033-0033,共1页Equipment Technology

摘　　要：在表面工程的领域中,非常重要内容之一,就是热涂层技术,并且已经广泛的应用于许多领域内,发挥着非常关键的作用。等离子物理气象沉积,主要是以低压等离子喷涂作为基础,通过快速多相调控,并且在这个过程,应用相关的涂层制备技术,获得相关的结构涂层。本文主要针对等离子物理气象沉积展开详细的研究与分析,以及展望发展前景。

关 键 词：等离子物理气相沉积 设备研究 研究现状 

分 类 号：C[社会学]