缓冲氧化物刻蚀液(BOE)废液处理技术探究  

作　　者：修德勇 张言 王东博 

机构地区：[1]中节能(盘锦)清洁技术发展有限公司,辽宁盘锦124000

出　　处：《中国科技期刊数据库 工业A》2021年第7期411-412,共2页

摘　　要：针对于BOE废液中F-含量高、NH3-N/TN含量高、处理难度大等问题,采取将BOE废液常温常压下进行酸碱中和,并加入絮凝剂进行絮凝沉降,通过滤压技术进行固-液分离,再经三效蒸发技术,进行合理化处理填埋。

关 键 词：BOE 氢氧化钙 絮凝沉降 三效蒸发 填埋 

分 类 号：X703.1[环境科学与工程—环境工程]