台阶仪法测量纳米薄膜厚度方法研究  

作　　者：申俊华[1] 高一鸣 许娟[1] 

机构地区：[1]中核北方核燃料元件有限公司,内蒙古包头014030

出　　处：《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2021年第8期222-223,共2页

摘　　要：纳米薄膜是一种新型的材料,由于其特殊的结构特点,使其作为功能材料和结构材料都具有良好发展前景。膜厚的精确测量至观重要,本文使用台阶仪对纳米薄膜厚度的测量方法进行研究。

关 键 词：纳米薄膜 台阶仪 厚度 

分 类 号：TB921[一般工业技术—计量学]