原子力显微镜高精度大面积表面质量检测系统开发  

作　　者：黎文辉 唐亮[2] 

机构地区：[1]桂林智工科技有限责任公司,广西桂林541004 [2]桂林电子科技大学机电工程学院,广西桂林541004

出　　处：《中国科技期刊数据库 工业A》2021年第10期371-374,共4页

基　　金：桂科基字(2018GCZX009);广西科技计划项目(桂科AD18126024)。

摘　　要：针对原子力显微镜检测构件表面质量扫描范围小的问题,在保证原有精度、效率的基础上,开发一套适用于大面积非接触式表面微观三维形貌检测平台。综合应用机械、自控、电子前沿技术,以激光测距方式,持续采集微悬臂梁上探针与被检表面原子间由范德华力产生的微变形量,经数据处理,获得材料表面涂层厚度参数。测试结果表明,该设备的扫描面积100×100mm,厚度绝对误差±6nm。

关 键 词：原子力显微镜 微悬臂梁 表面扫描 激光测距 

分 类 号：TH742.9[机械工程—光学工程]