试论硅压阻式压力传感器的温度补偿  

作　　者：张鹏 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《中国科技期刊数据库 工业A》2021年第11期63-65,共3页

摘　　要：经济的快速增长,带动了科技的迅猛发展。在此背景下,各种先进技术及高新设备不断涌出,被广泛应用各个行业,促进着社会生产力的提高。其中,就以硅压阻式压力传感器在设备管理中的应用来说,与传统的压力传感器相比,具有灵敏度高、线性好、体积小等诸多优点。正因为如此,使其一经问世,便得到了业内人士的一致认可和高度追捧。但受半导体材料温度特性的影响,使得这类压力传感器运行中的温度并不稳定,其输出信号会随着温度的改变而受到影响,导致信号传输质量不佳。为了使这种情况得到有效的改善,应对此传感器进行必要的温度调试,从而最大限度的保证传感器信号输出的稳定性。鉴于此,本文将对硅压阻式压力传感器的温度补偿进行分析和探究,以供业内人士交流和借鉴。

关 键 词：硅压阻式压力传感器 温度补偿 压力测量 

分 类 号：V233[航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程] TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]