氩气辉光放电正柱区等离子体特征参数的测量分析  

作　　者：王泽松 陈辉帆 唐尚海 项燕雄 梁枫 

机构地区：[1]岭南师范学院物理科学与技术学院,广东湛江524048

出　　处：《中国科技期刊数据库 工业A》2022年第2期221-224,共4页

基　　金：岭南师范学院,广东省湛江市2020年岭南师范学院教育教学改革项目:探索以市场和就业为导向的线上-线下教学新模式在高校工科课程中的实践形式,LSJG1703。

摘　　要：为解决气体放电等离子体的实际应用问题,测量等离子体特征参数尤为重要。结合直流高压辉光放电中各区域的特性,利用朗缪尔探针对放电管中的Ar辉光放电等离子体开展实验研究。原位测得等离子体伏安特性曲线,计算得出等离子体空间电位、悬浮电位、电子温度、等离子体密度、德拜长度等系列特征参数,并研究等离子体特征参数与不同Ar气压的关系,为用于物理气相沉积(PVD)领域的Ar等离子体应用提供基础理论支持。

关 键 词：直流辉光放电 朗缪尔探针 等离子体特征参数 伏安特性 

分 类 号：O461.21[理学—电子物理学]