浅析集成电路厂房洁净室暖通设计研究  

作　　者：仲飞 

机构地区：[1]中国电子系统工程第二建设有限公司,江苏无锡214135

出　　处：《中文科技期刊数据库（引文版）工程技术》2022年第9期72-74,共3页

摘　　要：21世纪的到来,人们已经进入到了互联网和信息化的时代,城市化进程也不断在加深和推进,无论是社会还是大众对于暖通设备也提出了更高的要求,与此同时,也加强了对其的关注。集成电路行业高速发展,洁净室暖通设计须达到相应标准要求,符合行业要求才能够适应现代化生产所需,才能够为集成电路生产环节提供保障基础。在集成电路行业不断优化的过程中,暖通设计关系到厂房中整体集成电路生产的质量,因此需要强化厂房洁净室的暖通设备,进一步推进集成电路行业发展。

关 键 词：集成电路 厂房洁净室 暖通设计 

分 类 号：TM7[电气工程—电力系统及自动化]