低温贮箱共底管路的真空氦质谱检漏方法及系统设计分析  

作　　者：张忠义 李冀超 贾子超 王良振 马 健 

机构地区：[1]北京首航天机械有限公司,北京100076

出　　处：《中文科技期刊数据库（引文版）工程技术》2023年第2期122-125,共4页

摘　　要：现阶段,氦质谱检漏技术在真空检漏中的应用十分普遍,这种检漏技术优势突出,检漏的灵敏度很高,可以达到较高的检漏数量级,相关检漏设备的响应速度快,氦分子在相关仪器高真空环境中具有很快的扩散速度,因此其在韩康、卫星、宇宙飞船等领域都有很好的应用。本文以低温贮箱共底管路为例,分析真空氦质谱检漏方法的应用,并探究氦质谱检漏系统的设计思路和方法。

关 键 词：低温贮箱 共底管路 真空 氦质谱检漏技术 系统设计 

分 类 号：TU375[建筑科学—结构工程]