超大规模集成电路芯片的激光缺陷检测技术研究  

作　　者：沈智慧 

机构地区：[1]深圳市智立方自动化设备股份有限公司,广东深圳518100

出　　处：《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2023年第9期44-46,共3页

摘　　要：超大规模集成电路芯片的激光缺陷检测技术是一种通过使用激光来检测集成电路芯片上的缺陷和欠缺的技术。这项技术可以帮助生产商在生产过程中及时发现并修复芯片上的缺陷,提高芯片的质量和性能。激光缺陷检测技术使用激光器对集成电路芯片进行照射,激光的功率和频率可以根据需要进行调节。激光照射后,通过激光反射或透射的特征来检测芯片上的缺陷,对反射或透射光进行分析,可以确定芯片的质量和性能,更好的为芯片的生产制造带来参考。因此,本文在研究中将进一步展开对芯片缺陷以及激光缺陷检测技术的分析,在此基础上,探讨超大规模集成电路芯片的激光缺陷检测技术,更好的确定芯片缺陷的类型和程度,提高集成电路芯片质量。

关 键 词：超大规模 集成电路芯片 激光缺陷检测技术 

分 类 号：TP391[自动化与计算机技术—计算机应用技术]