《半导体制造技术》教学改革探索  

作　　者：赵蒙[1] 李阳 姚金雷 

机构地区：[1]苏州科技大学物理科学与技术学院,江苏苏州215009

出　　处：《中文科技期刊数据库（全文版）教育科学》2023年第8期17-20,共4页

基　　金：国家自然科学基金“WO3外延薄膜的气敏性能研究”(51502186);苏州科技大学教学改革与研究项目“基于CPS技术的师范生实验教具开发及教育实践研究”(2021JG-17)。

摘　　要：集成电路、太阳能光伏、发光二极管(LED)以及微电机系统(MEMS)传感器等行业的蓬勃发展迫切需要大量半导体制造相关技术人才。在过去十年的教学实践中,苏州科技大学《半导体制造技术》教学团队,紧密围绕国家半导体行业人才需求,充分借鉴国内同类高校在教学方法、教学内容、双语教学、以及实践教学等方面的经验,结合学科发展、专业建设、学生深造和就业需求,充分考虑《半导体制造技术》课程特点,对教学内容、教学方式、学生实践、考核方法等环节进行了全面的改革探索,取得了良好的人才培育成效。希望这一系列教改尝试能为相关课程的教学工作提供借鉴。

关 键 词：半导体制造技术 集成电路 微电机系统 教学改革 实践探索 

分 类 号：G640[文化科学—高等教育学]