热式MEMS气体质量流量计  

作　　者：陈光远 陈雪中 程来杰 陈雪松 

机构地区：[1]江苏华尔威科技集团有限公司,江苏淮安211600

出　　处：《中国科技期刊数据库 工业A》2024年第1期0076-0080,共5页

摘　　要：研究设计了一款精度高、响应速度快,重复性好,功耗低,同时依靠复杂流场模型、多数据融合算法和温湿度混合气体流量补偿算法的热式MEMS气体质量流量传感器,设计有高可靠性的气体质量流量控制器的信号放大、控制、检测电路设计,采用百分百国产自主芯片完成系统硬件电路设计,提供自主知识产权的检测介质测量模型软件功能。经过研究,本文研制的热式MEMS质量流量计具有出色的精度、快速响应、良好的重复性和低功耗等优点,可以用来测量微小流量。

关 键 词：流量传感器 电路设计 微小流量 

分 类 号：TH81[机械工程—仪器科学与技术]