高洁净度芯片厂房洁净室内自动喷水灭火系统设计做法  

作　　者：周昱辰 

机构地区：[1]上海电子工程设计研究院有限公司,上海200083

出　　处：《中国科技期刊数据库 工业A》2024年第1期0023-0025,共3页

摘　　要：芯片信息产业在当下是一项新兴的高科技产业,被称为朝阳产业,其市场前景十分广阔。我国芯片信息制造业正加速结构调整与动能转换。一方面,手机、计算机和彩电等传统行业继续保持规模优势;另一方面,主要行业和产品的高端化、智能化发展成果显著,智能手机、智能电视机市场渗透率超过80%,智能可穿戴设备、智能家居产品、虚拟现实设备等新兴产品种类不断丰富。在虚拟现实、增强现实、无人驾驶、人工智能、无人机、智慧健康养老等新兴领域,国内涌现出了一大批创新型企业,技术和应用在全球处于领先位置。本文通过对高洁净度芯片厂房建筑结构形式的介绍,依据对于国标规范的理解,详细阐述了超净间内及其相关区域,自动喷水灭火系统设置条件以及相应技术手段,以达到确保厂房的安全性,同时便于工艺系统的使用的效果。

关 键 词：高洁 净度芯片 洁净室内 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]