300mm晶圆制造厂AMHS系统工程设计及仿真  

作　　者：王晶 王岸 程星华[1] 

机构地区：[1]中国电子工程设计院股份有限公司数字化技术中心,北京100097

出　　处：《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2024年第1期0126-0131,共6页

摘　　要：集成电路生产制造作为高科技行业中的劳动密集型产业,包括几十种生产流程,每道流程之间都需要进行物料流转,在这种情况下,物料流转的精确性和稳定性就极为重要。自动物料搬运系统(AMHS,Automated Material Handling System)应运而生,其是半导体制造实现自动化的重要一环。本文结合某300mm晶圆制造厂的实际情况,基于仿真模型理论,对工厂的AMHS系统进行了建模,并搭建三维仿真模型,分析研究其工程设计、轨道布局设计,提出了符合实际工程情况的评价模型的指标,提高了实际工程问题中AMHS的搬运效率。

关 键 词：物料搬运系统 天车系统 运输时间 晶圆制造厂 AMHS系统 工程设计 

分 类 号：TN3[电子电信—物理电子学]