某12英寸半导体超纯水工程工艺设计介绍及运行分析  

作　　者：章星异 

机构地区：[1]中国电子系统工程第二建设有限公司,江苏无锡320214

出　　处：《中国科技期刊数据库 工业A》2024年第9期0127-0131,共5页

摘　　要：文章介绍了江苏某12吋半导体芯片项目工厂超纯水系统的工程设计与运行情况。该系统共分三个工艺段,采用两床三塔离子交换预处理、RO反渗透及混床离子交换工艺的纯水后段制备系统、抛光混床以及膜脱气和终端超滤的抛光精处理系统,确保产水水质达到电子级高纯度纯水使用需求。该系统水平衡完整,满足同时考虑处理水量和自用水量,并且通过小流量循环的方式,能够适应用水量波动,有效降低系统能耗和药剂消耗的同时提升了整套系统超纯水供水的稳定性。系统在连续运行期间,超纯水离子浓度第三方检测合格,电阻率、颗粒度、TOC、DO、SiO2等指标连续在线监测合格,达到系统设计和使用要求。

关 键 词：12寸超纯水系统 两床三塔 抛光树脂 膜脱气 终端超滤 

分 类 号：TU82[建筑科学]