不等厚柔性玻璃基板的蚀刻工艺探讨  

作　　者：张启华 闫小雷 唐朝晖 李方亮 姚俊英 

机构地区：[1]黄石惠晶显示科技有限公司,湖北黄石435111

出　　处：《中国科技期刊数据库 工业A》2024年第9期0184-0187,共4页

摘　　要：柔性显示器件存在对于柔性玻璃盖板的强烈需求,但是目前超薄柔性玻璃盖板存在着弯曲柔软特性与耐冲击性能的无法兼顾的问题。本文提出了解决上述问题的一个思路,即制作不等厚柔性玻璃盖板,在折叠部位满足柔性弯曲的要求,在折叠部位以外通过保持较大的厚度保证较强的耐冲击性能,制得的不等厚玻璃盖板可有效解决柔软性与抗冲击强度之间的固有矛盾,经过实验证明,是一种适合量产的有效工艺途径。

关 键 词：柔性玻璃盖板 不等厚形态 酸雾蚀刻 摆动式 

分 类 号：TQ171.1[化学工程—玻璃工业]