半导体芯片洁净室环境控制系统的智能化设计与应用  

作　　者：杜庆新 

机构地区：[1]中国电子系统工程第四建设有限公司,上海201708

出　　处：《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2024年第12期258-261,共4页

摘　　要：半导体芯片制造中洁净室环境控制尤为重要,环境控制直接影响产品质量和生产效率。如今,智能化设计在洁净室环境控制系统中得到了广泛应用,特别是在温湿度控制、空气洁净度控制、气压控制等方面该系统起到了非常重要的作用。本文主要分析了半导体芯片洁净室环境控制系统的智能化设计与应用情况,重点探讨了物联网、大数据、人工智能等技术在提高系统智能化水平方面的应用价值。希望可以依靠所实施的智能化环境控制系统可以实时监测并调节环境参数,以此满足半导体生产过程精确控制的需求,进而提高产品生产效率。

关 键 词：半导体芯片 洁净室 环境控制系统 智能化设计 应用 

分 类 号：TN40[电子电信—微电子学与固体电子学]