集成电路芯片厂高纯化学品供应系统设计应用研究  

作　　者：申伏龙 

机构地区：[1]上海精泰机电系统工程有限公司,上海 200136

出　　处：《中国科技期刊数据库 工业A》2025年第2期030-035,共6页

摘　　要：半导体制程中化学品被大量用于芯片制造工艺和清洗硅片过程。化学品种类一般可分为酸类、碱类、有机溶剂类、研磨液四大类。芯片生产过程中如湿法蚀刻、清洗、光刻、化学机械研磨等皆使用到相各种化学品,而化学品的供应稳定性则对制程产线稳定、产品良率有着决定性的影响。半导体制程中所需化学品基本都具有毒性、腐蚀性、易燃易爆、高黏度等特点,所以供应系统设计、材料选型、系统供应的稳定性及系统安全性是非常重要的。本文结合某集成电路制造厂的H2SO4系统的初始设计与优化设计,分析了因黏度结合输送距离导致系统过大压损,通过实际计算,论述了管线输送距离对系统稳定供应的影响。结论 表明,在系统高程不变的情况下,调整系统输送逻辑,增加中继单元,可以确保系统的稳定供应。

关 键 词：高纯化学品 设计 化学品中央供应系统 中继单元 化工过程 智能控制与装备 

分 类 号：TP277[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]