湿法制备 STM 针尖过程中影响因素的分析  

ANALYSIS OF INFLUENCES IN THE PREPARATION OF STM TIP BY MOIST METHOD

作　　者：祁殿文[1] 于继荣[1] 梁迪众[1] 

机构地区：[1]华南理工大学电子与通信工程系

出　　处：《华南理工大学学报（自然科学版）》1997年第9期40-45,共6页Journal of South China University of Technology(Natural Science Edition)

基　　金：广东省自然科学基金

摘　　要：用电化学腐蚀法，通过快速控制电路控制微针尖的腐蚀。根据电化学的动力学原理，分析了制备过程中电压变化范围、电压切断时间、电解液浓度和钨丝浸入深度等因素对微尖质量的影响，并讨论了微尖形成机制。Through electrochemical etching,this paper deals with controlling the etch of STM tips of tungsten by a high_speed control circuit in their preparation,analyzes the influence of the changes and cut_off times of voltage,the concentration of electrolyte and immersion length of tungsten wires upon the quality of STM tips,and discusses the mechanism of the formation of STM tips.

关 键 词：扫描隧道显微镜 腐蚀 电化学 

分 类 号：O646[理学—物理化学]