一种新式大型真空蒸镀设备  

作　　者：卢颖[1] 王琪[1] 卢桂英[2] 段锐[2] 

机构地区：[1]空军第二航空学院,130022 [2]吉林农业大学工程技术学院,130118

出　　处：《工业技术经济》1997年第1期107-108,共2页Journal of Industrial Technological Economics

摘　　要：真空蒸镀是在高真空环境中,将蒸发材料加热至蒸发温度蒸发后而冷凝在要镀膜的基体上的过程。真空蒸镀工艺在生产中有广泛的应用,如不同形状、不同基体材料境面的制做;各种装饰装修材料的美化,优质包装材料的加工生产等等。 随着生产的发展,蒸镀技术已有了明显的提高,蒸发材料及基本材料也有了更广泛的选择和应用,蒸镀设备也从简单小规模型式向具有更高生产能力和加工更大面积基体材料型式发展。在大面积蒸镀时,要保证质量,达到各处蒸镀材料沉积均匀、细密一致,应通过设备及工艺的改进提高来实现。本文将简要介绍一种我们自行研制的一种大型蒸镀设备,此设备在科研及生产中应用得到了较好的效果。

关 键 词：真空蒸镀 镀膜室 工件架 蒸发材料 基体材料 反应堆材料 滑阀泵 

分 类 号：TG174[金属学及工艺—金属表面处理]