CMOS热流量风速计恒温差控制环路的研究  

Research on Constant Temperature Difference (CTD) Model Control Circuit of Thermal Flow Sensor

作　　者：吴剑[1] 秦明[1] 丁高飞[1] 沈广平[1] 李成章[1] 

机构地区：[1]东南大学MEMS教育部重点实验室,南京210096

出　　处：《电子器件》2007年第5期1571-1574,共4页Chinese Journal of Electron Devices

基　　金：国家自然科学基金(60476019);江苏省"青蓝"工程资助项目

摘　　要：分析了恒温差控制模式在CMOS热流量风速计中遇到的振荡问题.为了能够用Pspice等电路软件对环路进行分析,建立了传感器热域到电域的转换模型.分析可知,检测芯片温度的PN结与加热电阻间的距离以及芯片材料的热容和热阻等参数对恒温差控制环路的工作频率有很大的影响.为了调节环路的振荡频率使它能更好的控制芯片温度并且优化测风速和风向时的性能,对上述芯片的参数都要仔细选取.实际电路测试验证了仿真结果.The oscillation occurred in the constant temperature difference(CTD) control circuit of CMOS thermal flow sensors is analyzed.In order to simulate the entire controlling loop by the circuit software such as Pspice,a model which converts the thermal domain to electrical domain has been developed for the thermal sensor.From the analysis,we can see that the distance between the PN junction used to detect the temperature of the sensor and the resister used to heat the sensor,and other parameters such as the the...

关 键 词：CMOS 风速计 恒温差 振荡模式 

分 类 号：TN432[电子电信—微电子学与固体电子学]