光电位置敏感探测器非线性误差校正方法研究  

Study on Non-linearity Error Calibration of Photoelectric Position Sensitive Detector

作　　者：庞亚萍[1] 武京治[1] 周承仙[1] 

机构地区：[1]中北大学电子工程系通讯与信息学院,山西太原030051

出　　处：《机械管理开发》2007年第S1期64-65,67,共3页Mechanical Management and Development

摘　　要：位置敏感探测器(PSD)以其分辨率高、时间响应性好的优点在光电检测领域得到了广泛的应用,但是PSD在生产过程中产生的非线性误差极大的影响了测量精度和范围,因此对PSD进行必要的非线性误差修正可以大大提高其测量精度和可靠性。Position sensitive detector is widely used in photoelectric detection field for its high resolution,good time responsibility,but the non-linearity error influences on the measuring accuracy and range greatly prouced in production.By correction of the error,the measuring accuracy and reliability can be improved greatly.

关 键 词：PSD 非线性误差 误差修正 

分 类 号：TN36[电子电信—物理电子学]