微阵列点样器的制作方法  

Fabricating Method for Microarrayers

作　　者：李佳[1] 陈良格[1] 林华水[1] 田昭武[1] 

机构地区：[1]厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室,厦门,361005 厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室,厦门,361005 厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室,厦门,361005 厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室,厦门,361005

出　　处：《中国机械工程》2005年第z1期85-87,共3页China Mechanical Engineering

基　　金：国家自然科学基金资助项目(20475047)

摘　　要：提出了一种利用CO2激光对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)进行快速微加工,制作微阵列点样器的新方法.利用该微阵列点样器将多个样品平行同步地转移到尼龙膜基底上,形成微阵列芯片.微阵列点样器包含有48个间距为1500μm的6×8阵列式微通道,液体转移头内径为80μm.转移到基底上的样点平均半径为200μm,其样点直径相对标准偏差为2.45%.

关 键 词：CO2激光 微阵列点样器 PMMA 

分 类 号：TN4[电子电信—微电子学与固体电子学]