基于SOC的微气压传感器研究  

Research on Vacuum Sensors Based on SOC

作　　者：高仁璟[1] 唐祯安[1] 张凤田[1] 王海霞[1] 江胜峰[1] 

机构地区：[1]大连理工大学,大连,116024 大连理工大学,大连,116024 大连理工大学,大连,116024 大连理工大学,大连,116024 大连理工大学,大连,116024

出　　处：《中国机械工程》2005年第z1期155-157,共3页China Mechanical Engineering

基　　金：国家自然科学基金资助重点项目(90207003)

摘　　要：研究了基于SOC的微气压测试系统的工作原理,设计了基于集成温度传感器的微气压测试系统.以AD590为例,实现了微气压测试和系统的单片集成.测试结果表明,在恒功率加热模式下,系统在一定的气压范围(1～100kPa)内,对微小气压的响应具有良好的线性性质,易于实现信号处理电路和传感电路的单片集成.

关 键 词：微气压 测试系统 SOC AD590 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]