压阻式压力传感器的温度特性研究  

The Research on Temperature Characteristic of The Piezoresistance Pressure sensor

作　　者：郭涛[1] 熊继军[1] 张文栋[1] 

机构地区：[1]华北工学院电子科学与技术系,教育部重点实验室,山西,太原,030051 华北工学院电子科学与技术系,教育部重点实验室,山西,太原,030051 华北工学院电子科学与技术系,教育部重点实验室,山西,太原,030051

出　　处：《测试技术学报》2004年第z1期229-231,共3页Journal of Test and Measurement Technology

摘　　要：本文针对压阻式压力传感器的温度特性,提出了对其零位温度漂移和灵敏度温度漂移的补偿方法:在传感器芯片上加做温敏电阻和加热电阻对其零位温度漂移和灵敏度温度漂移进行补偿,并通过试验证明这种方法是非常有效的.

关 键 词：压阻式压力传感器 温度特性 零位温度漂移 灵敏度温度漂移 

分 类 号：TB9-55[一般工业技术—计量学]