在线平面度测量仪  

On line Measurement Instrument for Flatness

作　　者：邵宏伟[1] 张旭东[1] 郑庆国[1] 邹玲丁[1] 党爱华[1] 沈雪萍[1] 

机构地区：[1]中国计量科学研究院,北京,100013 中国计量科学研究院,北京,100013 中国计量科学研究院,北京,100013 中国计量科学研究院,北京,100013 中国计量科学研究院,北京,100013 中国计量科学研究院,北京,100013

出　　处：《计量学报》2006年第z1期182-185,共4页Acta Metrologica Sinica

摘　　要：传统上使用自准直仪、水平仪、电子水平仪和样板尺等来测量水平安放的标准平板和工件的平面度.但对于竖直的平面,如采用自准直仪、样板尺等,测量将十分繁杂,效率相当低下.激光跟踪仪可以测量任意方向平面的平面度误差,其精度完全能满足工程测量要求,但价格贵,对环境要求高,需要二人以上才能测量.测量效率虽高于传统的平面度测量方法,但不能满足工厂生产线上在线快速测量的要求.现已研发了3 m×2 m大平面平面度全自动测量仪,通过49支大行程电感传感器测量被测面上49点的空间位置尺寸,通过计算机得到被测面的平面度和它的三维形貌图.其主要技术参数为:测量面积为3 m×2 m,平面度测量范围为±10 mm,测量不确定度为0.1mm,测量周期＜15 s.

关 键 词：计量学 平面度测量 不确定度 电感传感器 激光跟踪仪 

分 类 号：TH7[机械工程—仪器科学与技术]