高精度位移传感器测量  

High Accuracy Displacement Sensor Measurement

作　　者：裴丽梅[1] 许婕[1] 苏永昌[1] 郑庆国[1] 王自军[1] 

机构地区：[1]中国计量科学研究院,北京,100013 中国计量科学研究院,北京,100013 中国计量科学研究院,北京,100013 中国计量科学研究院,北京,100013 中国计量科学研究院,北京,100013

出　　处：《计量学报》2006年第z1期200-202,共3页Acta Metrologica Sinica

摘　　要：利用高精度的F-P激光干涉仪,研制了一套用于高精度位移传感器的校准装置,可以校准示值误差为十几个纳米到几十个纳米的高精度位移传感器.测量原理是利用F-P激光干涉仪的灵敏度高、测量精度高等特点,将干涉仪和被测传感器同时测量放置在精密位移工作台上,通过比较激光干涉仪移动镜的位移量和被测传感器的位移量间的差异,得出被测传感器的线性,整个测量过程完全由计算机控制.该系统测量范围为0～25mm,测量不确定度为6 nm+l/2 nm(k=1).

关 键 词：计量学 位移传感器 法布里-珀罗干涉仪 高精度测量 

分 类 号：TB92[一般工业技术—计量学]