用扫描电镜测量纳米级标准长度的倾斜误差计算  

The Calculation of Tilt-error of Standard Nano-meter Length Used SEM

作　　者：王瑞斌[1] 赖奕坚[1] 庄明珠[1] 郭新秋[1] 王铮[1] 李刚[1] 张训彪[1] 

机构地区：[1]上海交通大学,分析测试中心,上海,200030 上海交通大学,分析测试中心,上海,200030 上海交通大学,分析测试中心,上海,200030 上海交通大学,分析测试中心,上海,200030 上海交通大学,分析测试中心,上海,200030 上海交通大学,分析测试中心,上海,200030 同济大学,上海,200030

出　　处：《分析测试学报》2006年第z1期189-190,共2页Journal of Instrumental Analysis

摘　　要：　　用扫描电镜测量纳米级长度的时候[1, 2],被测长度的倾斜会导致被测长度产生误差,通常称其为倾斜误差.本文对于倾斜误差进行了实验和分析.给出了倾斜误差与倾斜角度的关系公式和对应数据表,同时提出了减小或消除倾斜误差的方法,为提高测量准确度,建立标准测量方法[3],创造了条件.……

分 类 号：O657-55[理学—分析化学]