一维纳米结构氧化锌材料的气相沉积制备及生长特性研究  被引量:2

Growth of One-Dimensional ZnO Nanostructures by Vapor Phase Deposition

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作  者:张琦锋[1] 孙晖[1] 潘光虎[1] 张俊艳[1] 刘惟敏[1] 薛增泉[1] 吴锦雷[1] 

机构地区:[1]北京大学信息科学技术学院,北京,100871 北京大学信息科学技术学院,北京,100871 北京大学信息科学技术学院,北京,100871 北京大学信息科学技术学院,北京,100871 北京大学信息科学技术学院,北京,100871 北京大学信息科学技术学院,北京,100871 北京大学信息科学技术学院,北京,100871

出  处:《真空科学与技术学报》2006年第z1期14-19,共6页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

基  金:国家重点基础研究发展规划973项目(2001CB610503);国家自然科学基金(60471007,60471008,60231010);北京市自然科学基金(4042017)

摘  要:ZnO是一种可用于室温或更高温度下的紫外发光材料,纳米结构的ZnO(如单晶薄膜、纳米粒子膜、纳米线和纳米带等)则更是在紫外激光发射领域显示了独到的优势,被认为是有望构造短波长半导体激光器的理想材料.本文对一维ZnO纳米结构(纳米线、纳米管和纳米带)的真空物理气相沉积制备技术及生长机理进行了初步探讨.

关 键 词:氧化锌 纳米线 气相制备 VLS生长机制 

分 类 号:TN304.2[电子电信—物理电子学] O782[理学—晶体学]

 

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