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作 者:杨晓天[1] 张军辉[1] 蒙峻[1] 张新俊[1] 张喜平[1] 侯生军[1] 胡振军[1] 衡昌胜[1] 郝斌干[1] 吴慧敏[1]
机构地区:[1]中国科学院近代物理研究所,兰州,730000 中国科学院近代物理研究所,兰州,730000 中国科学院近代物理研究所,兰州,730000 中国科学院近代物理研究所,兰州,730000 中国科学院近代物理研究所,兰州,730000 中国科学院近代物理研究所,兰州,730000 中国科学院近代物理研究所,兰州,730000 中国科学院近代物理研究所,兰州,730000 中国科学院近代物理研究所,兰州,730000 中国科学院近代物理研究所,兰州,730000
出 处:《真空科学与技术学报》2005年第z1期43-46,50,共5页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
摘 要:形成并成功地实施一套完整的超高真空获得方案,以满足兰州重离子加速器冷却储存环(HIRFL-CSL)6×10-9Pa超高真空度的要求.这套方案包括合理选择和配置真空排气系统及其他设备、合理选择材料、采用真空炉除气及在线烘烤等有效措施及大幅度降低材料出气率等.首先在样机上获得了5×10-10Pa的超高真空度,然后将样机的成功经验应用于HIR-FL-CSR大型超高真空系统.目前,已建成的各子系统真空度达到了(2×10-9~4×10-10)Pa.
关 键 词:超高真空系统 超高真空获得 材料出气率 真空烘烤
分 类 号:TL503.7[核科学技术—核技术及应用] TB751[一般工业技术—真空技术]
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