微加速度开关力电接触仿真分析  

Force-electrical Contact Simulation of Micro Accelerometer Switch

作　　者：田文超[1] 贾建援[1] 陈光焱 赵剑[1] 

机构地区：[1]西安电子科技大学机电工程学院,西安710071 [2]西南电子工程研究所,绵阳621000

出　　处：《仪器仪表学报》2005年第z2期331-333,共3页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金：国家自然科学基金(10476019)资助项目。

摘　　要：讨论了微加速度开关触点形貌,建立了触点吸附物理模型;根据微观连续介质理论和微观电接触理论,推导出触点间包含斥力项的吸附力和接触电阻数学模型;经仿真分析,得到质量块同基座间的吸附力可以满足质量块同基座间的稳定电接触要求的结论。The contact point figure of the micro accelerometer switch is discussed.The contact point stick physi-cal model is established.On the basis of the micro continuous medium principle and micro electrical contact prin-ciple, the adhesion mathematical model and contact resistance model are derived.By simulating,the conclusion,that the adhesion between the mass black and base can satisfy the steady electrical contact request,is obtained.

关 键 词：微电子机械系统(MEMS) 微加速度开关 吸附力 接触电阻 

分 类 号：TH7-55[机械工程—仪器科学与技术]