低功率消耗SOI基热光可变光学衰减器  

A Low Power Consumption SOI-Based Thermo-Optic Variable Optical Attenuator

作　　者：贺月娇[1] 方青[1] 辛红丽[1] 陈鹏[1] 李芳[1] 刘育梁[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083 中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083 中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083 中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083 中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083 中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083

出　　处：《Journal of Semiconductors》2005年第z1期204-207,共4页半导体学报（英文版）

基　　金：国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:2001AA312250)

摘　　要：制作了带有U形隔热槽的马赫-曾德干涉型SOI热光可变光学衰减器,在1510～1610nm波长范围内动态调节范围可达到0～29dB.与未加隔热槽的相同结构光学衰减器相比,器件插入损耗和调制深度不受影响,最大功率消耗降低了230mW.

关 键 词：可变光学衰减器 热光 隔热槽 功率消耗 

分 类 号：TN252[电子电信—物理电子学]