接触式干涉仪自由状态下零次干涉带正确位置  

作　　者：谢春景 

机构地区：[1]廊坊计量测试研究所,河北廊坊065000

出　　处：《工业计量》2005年第S1期280-281,共2页Industrial Metrology

摘　　要：接触式干涉仪被广泛用来检定2～4等量块,这种仪器的示值误差δ=±(0.03+1.5niΔλ/λ)μm。(n×i为相比较量块长度之差,λ、△λ为滤光片的波长和其测量的不确定度。)可是在一种不被注意的情况下,仪器的示值误差会达到0.3μm左右,这种情况在实际使用中又是可能出现的,因此在必要时对此加以认识。(1)如果在检定仪器的示值误差时。

关 键 词：干涉 示值误差 仪器 干涉条纹 量块 块规 接触式干涉仪 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]