微型平面薄膜气敏元件及过冲驰豫现象的机理  

作　　者：邢建平[1] 李秀宇[1] 曾繁泰[1] 李伟业[1] 蔡成森[1] 李娟[1] 孟令国[1] 

机构地区：[1]山东大学信息科学与工程学院,济南,250100 山东大学信息科学与工程学院,济南,250100 山东大学信息科学与工程学院,济南,250100 山东大学信息科学与工程学院,济南,250100 山东大学信息科学与工程学院,济南,250100 山东大学信息科学与工程学院,济南,250100 山东大学信息科学与工程学院,济南,250100

出　　处：《电子测量与仪器学报》2004年第z2期1209-1215,共7页Journal of Electronic Measurement and Instrumentation

摘　　要：利用粉末反溅研制了SnO2/CeO2Si基微型平面薄膜元件,最佳乙醇灵敏度达到80,响应时间＜10s,恢复时间＜15s;采用闭式实验测量方法时出现了过冲驰豫现象,对其产生机理的物理过程进行了分析,找出了规律,并使用Matlab软件进行了仿真.

关 键 词：薄膜 气敏 过冲驰豫 MATLAB 

分 类 号：TM93-55[电气工程—电力电子与电力传动]