钙钛矿型氧化物SrTiO3/BaTiO3多层膜的激光分子束外延生长研究  

Epitaxial growth of perovskite oxide SrTiO3/BaTiO3 multilayer films on SrTiO3 substrate

作　　者：姚海军[1] 李燕[1] 罗佳慧[1] 姜斌[1] 邓宏[1] 蒋书文[1] 

机构地区：[1]电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

出　　处：《功能材料》2004年第z1期2890-2893,2897,共5页Journal of Functional Materials

基　　金：国家973资助项目(513102)

摘　　要：用激光分子束外延技术在SrTiO3(001)衬底上外延生长SrTiO3/BaTiO3多层膜,通过反射式高能电子衍射(RHEED)原位实时监测并结合原子力显微镜(AFM),研究了不同基片温度下所生长薄膜的表面平整度,利用X射线衍射(XRD)对外延薄膜进行了结构分析,结果表明薄膜具有二维生长模式,在基片温度为380～470℃之间生长的薄膜具有原子级光滑,并且具有完全C轴取向.同时运用X射线光电子能谱(XPS)研究了薄膜界面的互扩散,结果表明降低制备薄膜时的基片温度有利于减少互扩散.

关 键 词：激光分子束外延 SrTiO3/BaTiO3 多层膜 反射式高能电子衍射 原子力显微镜 

分 类 号：TN04[电子电信—物理电子学]