基于DSP的扫描探针显微镜中压电陶瓷管非线性校正技术及其实现  

作　　者：刘辉[1] 黄自元[1] 费敏锐[1] 

机构地区：[1]上海大学机电工程与自动化学院,上海200072

出　　处：《冶金自动化》2003年第z1期265-267,共3页Metallurgical Industry Automation

基　　金：上海市纳米科技专项(0214nm090)资助

摘　　要：随着纳米科技的高速发展，对作为微观表征和操纵技术的扫描探针显微镜(SPM)的精度提出了更高的要求。而压电陶瓷管的非线性(回滞、蠕变等)问题却严重影响了其扫描精度，特别在大范围扫描模式下更引起了特征扭曲。本文针对SPM压电陶瓷管非线性难题，提出了一种基于DSP技术，并利用其强大的数据处理能力在线实现了SPM压电陶瓷管非线性校正的方法。实验结果验证了本方法的有效性。

关 键 词：扫描探针显微镜 压电陶瓷管 非线性校正 DSP 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]