微桥式传感器在微小气体流量测量中的应用  

The Application of Microbridge Sensor in Micro Airflow Measurements

作　　者：张敏[1] 周鑫玲[1] 王向军[1] 

机构地区：[1]天津大学精密仪器与电子工程学院,天津300072

出　　处：《仪器仪表学报》2003年第z2期98-99,共2页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金：天津市自然基金

摘　　要：介绍一种新型气体流量传感器——AWM系列微桥式气流质量传感器在微小气体流量测量中的应用。简介其原理和在尘埃粒子计数器中的应用,并与浮子式流量计相比较,它可使尘埃粒子计数器体积减小、操作简便、检测精度提高。Microbridge mass airflow sensors of AWM series,a new kind of airflow sensors,applied in micro air- flow measurements is presented. The sensor used in particle counter can make it smaller,more accurate and easier to apply than dobber flowmeter.

关 键 词：微小气体流量测量 AWM传感器 尘埃粒子计数器 浮子流量计 

分 类 号：TP21[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]