Lock-in用于无损显微分层内窥透视集成电路法  

Application of Lock-in for Method of Lossless Internal Microtomograph Visualization Testing Multilayer IC

作　　者：王建[1] 李亚文[1] 肖玲[1] 梁竹关[1] 周开邻[1] 李萍[1] 徐晓华[1] 胡问国[1] Рау,З,И 

机构地区：[1]云南大学物理系,昆明,650091 昆明物理研究所,昆明,650000 云南大学物理系,昆明,650091 云南大学物理系,昆明,650091 云南大学物理系,昆明,650091 昆明物理研究所,昆明,650000 昆明物理研究所,昆明,650000 云南大学物理系,昆明,650091 俄罗斯科学院微电子研究所

出　　处：《数据采集与处理》2001年第z1期112-115,共4页Journal of Data Acquisition and Processing

基　　金：自然科学技术部和国家科学基金委员会资助项目.

摘　　要：提出一种新的扫描电子显微镜电子束非接触无损显微分层内窥透视半导体和多层结构集成电路表面层下亚表面层内半导体的缺陷和多层结构集成电路微结构的检测法(简称分层法)和用此法所观测到的分层内窥透视的图像.同时。

关 键 词：扫描电子显微镜 电子束 非接触无损 显微分层内窥透视检测法 半导体和多层结构集成电路 分层的微结构和缺陷 锁相放大器 

分 类 号：TN14[电子电信—物理电子学] TN4