精密转台在平面度检测中的应用  

Flatness measurement using precision rotary table

作　　者：景洪伟[1] 吴学巧[1] 曹学东[1] 匡龙[1] 吴时彬[1] 

机构地区：[1]中国科学院光电技术研究所,四川成都610209

出　　处：《红外与激光工程》2008年第S1期141-143,共3页Infrared and Laser Engineering

摘　　要：介绍了一种使用精密转台,千分表,0级平尺,光电自准直仪测量非连续平面零件平面度的方法。用该方法测量了一件直径Ф2310mm的非连续平面零件并给出其数据处理方法和测量结果。对这种测量方法进行了测量不确定度分析其结果为5μm。A method of flatness measurement of noncontinuous flat part using precision rotary table,micrometer,flat ruler,autocollimation is introduced.A noncontinuous flat part with Ф2310mm diameter was measured; the data processing method and measuring results were given.The measurement uncertainty of the method is 5 μm.

关 键 词：精密转台 平面度测量 

分 类 号：TP274.4[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]