介观压阻型硅锗加速度计研究  

Study on Meso-Piezoresistive Type Silicon-Germanium Accelerometer

作　　者：温银萍[1] 温廷敦[1] 

机构地区：[1]中北大学微米纳米技术研究中心,山西太原030051

出　　处：《微电子学与计算机》2009年第3期22-25,共4页Microelectronics & Computer

基　　金：国家自然科学基金项目(60776062)

摘　　要：提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度压阻式硅锗加速度计,采用Si1-xGex/Si结构薄膜作为敏感元件,设计了一个双悬臂梁式的压阻式硅锗加速度计.通过理论分析与仿真计算,得出通过调整对该结构的外加应力可以实现对传感器灵敏度的调节,而且利用介观压阻效应原理可以将压阻式硅微加速度计的灵敏度提高一个数量级的结论.为设计新型压阻式硅微加速度计提供了一种思路.A high sensitivity silicon-germanium accelerometer based on meso-piezoresistance effect is proposed in this letter,we took Si1-xGex/Si film as core component,and deviced double cantilever beamwith structure piezoresistive silicon-germanium acceleration sensor.The influence of adscititious stress on the sensitivity are analyzed by theoretic analysis and emulational calculation,based on it,we can draw the conclution that sensitivity of piezoresistive silicon-micro acceleration sensor are increased one-number-...

关 键 词：介观压阻效应 加速度计 灵敏度 双悬臂梁 

分 类 号：TP211[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]